產(chǎn)品參數(shù) | |||
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SiC外延代工服務(wù):支持4/6英寸晶圓、科研機(jī)構(gòu)/企業(yè)定制 品牌 | 中芯晶研 | ||
批號(hào) | 最新 | ||
封裝 | 單片包裝 | ||
包裝 | 盒裝 | ||
品名 | 碳化硅外延片 | ||
晶型 | 4H | ||
規(guī)格 | 可定制 | ||
生長方法 | CVD | ||
外觀 | 薄膜片 | ||
外延厚度均勻性 | ≤5 | ||
數(shù)量 | 1 | ||
售賣地區(qū) | 全國 | ||
起訂量 | 5 | ||
可售賣地 | 全國 | ||
用途 | 功率器件制備 | ||
型號(hào) | N型、半絕緣型 |
可供常規(guī)碳化硅(SiC)外延片與定制結(jié)構(gòu)外延片,包括同質(zhì)外延與異質(zhì)外延,用于碳化硅器件的開發(fā)。我們通常使用化學(xué)氣相沉積(CVD)方法在碳化硅襯底上沉積一層單晶或多層單晶薄膜以形成外延晶片。其中,碳化硅同質(zhì)外延片是通過在導(dǎo)電碳化硅襯底上生長碳化硅外延層來制備的,進(jìn)一步制成功率器件。具體可參考下方所列碳化硅外延片規(guī)格,該外延片可用于制備MOS電容器:
1. 碳化硅外延片參數(shù)表
2. 碳化硅外延片的應(yīng)用領(lǐng)域
SiC外延晶片主要用于制造600V~3300V功率器件,包括SBD、JBS、PIN、MOSFET、JFET、BJT、GTO、IGBT等,應(yīng)用于射頻(如:5G通信、雷達(dá))、新能源汽車、固態(tài)光源等領(lǐng)域。
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