Shimadzu TMP-2003LM/LMC TMP-2003M/MC分子泵抽速可達(dá)到2000L/s，轉(zhuǎn)速為27000rpm，極限壓力1x10-11Torr(1.3x10-11mbar)，對(duì)應(yīng)的控制器為：Shimadzu EI-D2003M
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