Agilent TV401/301 NSF是特殊設(shè)計(jì)的渦輪分子泵，有時(shí)又稱為Varian TV401-301，轉(zhuǎn)速為60000轉(zhuǎn)／分鐘，極限壓力：1X10-9pa可以同時(shí)抽取兩個(gè)腔體的真空，TV-401 301 Macrotorr平臺(tái)為3個(gè)光盤形式。渦輪轉(zhuǎn)子由永久潤(rùn)滑的高精度陶瓷球軸承支撐，該軸承安裝在泵的前排側(cè)。定子的靜葉片由不銹鋼制成。這些由墊片環(huán)支撐并精確定位。Macrotorr定子采用自定位的機(jī)加工盤形式，具有泵送通道和受相應(yīng)轉(zhuǎn)子盤限制的開口。這些由鋁合金制成。
