德國普發(fā)分子泵電源 Pfeiffer TC100 ，可以驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的分子泵有Pfeiffer TMH071， Pfeiffer TMU071， Pfeiffer TMH262，其輸出為3相 24V 0-1500Hz的PWM 電壓。
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