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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
ULVAC UTM3400A渦輪分子泵保養(yǎng)服務(wù)在線咨詢
ULVAC UTM3400A渦輪分子泵保養(yǎng)服務(wù)在線咨詢
產(chǎn)品價(jià)格：￥1002
上架日期：2023-03-07 11:33:06
產(chǎn)地：日本
發(fā)貨地：廣東廣州市
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺(tái)
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詳細(xì)說明

    ULVAC UTM3400A采用磁浮軸承控制器一體型渦輪分子泵。通過泵的本體和控制器一體化，實(shí)現(xiàn)了省配線，省空間。

    特點(diǎn)
    泵體和控制器一體化泵體和控制器之間不需要復(fù)雜的布線工作。
    安裝方向自由安裝方向沒有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
    產(chǎn)品陣容涵蓋排氣速度1000 L / s至4000 L / s。
    廣域大流量設(shè)計(jì)，適用于輕工藝泵速可以在25％至100％的范圍內(nèi)變化，腔室的壓力可以調(diào)節(jié)。
    高耐久性和安全性已經(jīng)通過各種安全確認(rèn)測(cè)試，例如空氣沖擊測(cè)試和觸地測(cè)試。
    用途
    各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)半導(dǎo)體制造設(shè)備蒸發(fā)設(shè)備濺射設(shè)備分析設(shè)備實(shí)驗(yàn)設(shè)備等研究開發(fā)設(shè)備
    不會(huì)生成副反應(yīng)物的輕工藝的主排氣系統(tǒng)
    替換設(shè)備上的有擴(kuò)散泵
    其他一般高真空排氣用途

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