概述
nEXT400D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結合使用的復合分子泵,有ISO160和CF160兩種入口法蘭接口,對N2的抽速為400l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術,上軸承為永久性磁懸浮軸承,下軸承為油潤滑陶瓷軸承,并改進轉子設計,使其更加有效地實現分子拖曳行程,最終提高抽速和壓縮比,同時真正實現了用戶自行維護。它們采用24V到48V直流無傳感器電機,內置驅動,與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種最da預設功率可選,前者可使用100W TIC控制器,適用于抽氬氣,但在該功率下達到滿轉速的加速時間較長。
基本的分子泵系統通常由nEXT400D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。