Leybold最早將陶瓷軸承應(yīng)用于分子泵,其rotor設(shè)計充分考慮到加工的應(yīng)力,轉(zhuǎn)動的葉片和定子之間只有0.1毫米。制造公差達到微米級。在轉(zhuǎn)速高達每分鐘7.2萬轉(zhuǎn)時,葉片端部的速度接近超音速。
Leybold TW70LS德國萊寶真空分子泵, Oerlikon TW70LS渦輪分子泵的進氣法蘭口DN63,抽速可達到66l/s 轉(zhuǎn)速為72000rpm, Oerlikon Leybold TW70LS專門用于Leybold 氦質(zhì)譜檢漏儀。