干泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:1,低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2.半導體刻腐蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到生成腐蝕氣體和研磨微粒;3.除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝。在這些工藝中,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排除泵外,用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;4.化學工業(yè)、醫(yī)學工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;5.用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
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