1.一級(jí)、二級(jí)或三級(jí)羅茨真空泵
2.前級(jí)液環(huán)真空泵
3.真空壓力開(kāi)關(guān)
4.止回閥
5.防反流破真空閥
6.進(jìn)液電磁閥
7.氣液分離罐
8.閉式循環(huán)系統(tǒng)(液位計(jì)、補(bǔ)液電磁閥、冷卻器、溫度表)
9.PLC電氣控制柜
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