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美國(guó)MKS  INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導(dǎo)體零部件的供應(yīng)商，在氣體、真空儀器及制程控制應(yīng)用等方面有技術(shù)獨(dú)到之處，美國(guó)萬(wàn)機(jī)儀器MKS  INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測(cè)量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過(guò)程中。

代表型號(hào)：AX7690，AX3060，AX7610，AX2500，AX2600，AX7670，AX7680，AX7685，AX7645，LIQUOZON，NOVA-25，NOVA-50，SPECTRUMB5002， SPECTRUM  B11002，ACG-3B，ACG-6B，ACG-10B，GHW-12，GHW-25，GHW-50，SPECTRUM  3013，SUREPOWER  QL3513，SUREPOWERQL6513，SUREPOWER  QL10513，SUREPOWER  QL13013，OPTIMA  OPT-50，OPTIMA  OPT-100，OPTIMA  OPT-200，OPTIMA  OPT-400，OPTIMA  OPT-600，RPG-50,RPG-100，ENI-RFPC，MWH-5，MW-10D，ENI-2500-13.56，MWH-100，MWH-25，VIPROBE，1249A，148JA11CR1M， 148JA12CR1M，148JA13CR1M，148JA14CR1M，148JA21CR1M，148JA22CR1M，148JA23CR1M……..