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儀器型號(hào) |
VMS5030汽浮 |
VMS6040汽浮 | |
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工作臺(tái) |
金屬臺(tái)面尺寸（mm） |
760*640 |
730*530 |
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玻璃臺(tái)面尺寸（mm） |
550*350 |
650*450 | |
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運(yùn)動(dòng)行程（mm） |
500*300 |
600*400 | |
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數(shù)據(jù)測(cè)量系統(tǒng) |
Z軸升降行程：200mm 工作距離：92mm
X、Y、Z數(shù)顯解析度：0.0005mm X、Y坐標(biāo)示值誤差：≤（3+L/200）um | ||
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影像系統(tǒng) |
攝影機(jī)：美國(guó)TEO牌CCD攝像機(jī)
變焦物鏡倍率：（美國(guó)：NAVITAR）0.7~4.5X或自動(dòng)變焦鏡頭
視頻總倍率：30X~190X
物方視場(chǎng)：10.6~1.6mm 表面光源與透射光源均用LED，48組可編輯 | ||
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測(cè)量系統(tǒng) |
Quickmeasuring全自動(dòng)測(cè)量軟件 | ||