儀器型號
|
VMS6040CNC
|
|||
工作臺
|
X、Y軸行程（mm）
|
600*400
|
||
Z軸行程（mm）
|
200調(diào)焦及輔助測量
|
|||
工作臺尺寸（mm）
|
760*560
|
|||
玻璃臺面尺寸（mm）
|
450*650
|
|||
傳動型式
|
X、Y、Z軸均采用馬達驅(qū)動滾珠絲桿傳動的型式
|
|||
數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)
|
光學(xué)尺解析度：X、Y、Z軸0.0005mm 電腦自動采樣
|
|||
專業(yè)軟件進行資料分析處理 X、Y坐標(biāo)示值誤差：≤（3+L/200）um
|
||||
影像瞄準(zhǔn)系統(tǒng)
|
高解析度CCD彩色攝像機
|
|||
0.7~4.5X變焦鏡頭，總視頻放大倍率為30~190X，配2X物鏡時，總視頻放大倍率可達380X
|
||||
照明系統(tǒng)
|
連續(xù)可調(diào)式LED環(huán)形表面光及輪廓光，根據(jù)放大倍率確定最大光強
|
|||
X、Y軸馬達運動速度
|
<120mm/s
|
|||
Z軸馬達運動速度
|
<60mm/s
|
|||
馬達運動步長
|
0.4mm/步
|
|||
馬達分辨率
|
1000步/轉(zhuǎn)
|
|||
儀器外形尺寸（L*W*H）
|
1840*960*1867
|
|||
儀器重量（kg）
|
800
|
|||
