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halar6514、6014，ectfe，pfa，etfe，pctfe，半導(dǎo)體橡膠圈，半導(dǎo)體晶圓花籃，CMP研磨盤(pán)耐腐蝕涂層加工，CHUCK卡盤(pán)，半導(dǎo)體研磨盤(pán)，50%濃度酸性槽液浸泡涂層不起泡，不脫層
PPB級(jí)超高純半導(dǎo)體防腐專(zhuān)用PFA ，高純，半導(dǎo)體研磨盤(pán)PFA閥門(mén)，應(yīng)用石英石晶 圓花籃，半導(dǎo)體清洗槽，半導(dǎo)體設(shè)備
蘇威哈拉涂層，改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,半導(dǎo)體清洗槽設(shè)備涂層加工
超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級(jí)， 否則會(huì)污染晶圓 優(yōu)秀防腐性 需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能， 抵御各類(lèi)強(qiáng)酸強(qiáng)堿，防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性，保證 研磨液/清洗液不會(huì)滲透 進(jìn)入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進(jìn) 行二次加工從而保證精度， 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過(guò)硬劃傷晶圓
產(chǎn)品案例
8/12寸晶圓花籃由于強(qiáng)度 載重原因，部分無(wú)法使用 超高純注塑材料，改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料，但表面容易劃傷晶圓， 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
叉手在轉(zhuǎn)移晶圓的同時(shí)， 會(huì)造成晶圓劃傷，需要表 面進(jìn)行防護(hù)，同時(shí)材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉(zhuǎn)運(yùn)臂

 純度：PPB級(jí) 
厚度：100-800μm 
耐酸：濃酸
硬度：4H
顏色：黑色，白色，透明?；疑?br />