PPB級(jí)超高純半導(dǎo)體防腐專(zhuān)用PFA ，高純PFA閥門(mén)，應(yīng)用石英石晶 圓花籃，半導(dǎo)體清洗槽，半導(dǎo)體設(shè)備
蘇威哈拉涂層，改性PTFE,ECTFE,ETFE,FEP,半導(dǎo)體清洗槽設(shè)備涂層加工
超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級(jí)， 否則會(huì)污染晶圓 優(yōu)秀防腐性 需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能， 抵御各類(lèi)強(qiáng)酸強(qiáng)堿，防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性，保證 研磨液/清洗液不會(huì)滲透 進(jìn)入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進(jìn) 行二次加工從而保證精度， 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過(guò)硬劃傷晶圓