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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
PPB級(jí)超高純半導(dǎo)體防腐專(zhuān)用PFA
PPB級(jí)超高純半導(dǎo)體防腐專(zhuān)用PFA
產(chǎn)品價(jià)格:
上架日期:2024-05-21 13:17:41
產(chǎn)地:上海浦東新區(qū)
發(fā)貨地:上海浦東新區(qū)
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詳細(xì)說(shuō)明
    PPB級(jí)超高純半導(dǎo)體防腐專(zhuān)用PFA ,應(yīng)用石英石晶 圓花籃,半導(dǎo)體清洗槽,半導(dǎo)體設(shè)備
    超高純度 接觸晶圓的防腐材料金 屬離子含量低于PPB級(jí), 否則會(huì)污染晶圓 優(yōu)秀防腐性 需要有優(yōu)秀的耐酸堿性能, 抵御各類(lèi)強(qiáng)酸強(qiáng)堿,防止 腐蝕造成金屬離子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保證 研磨液/清洗液不會(huì)滲透 進(jìn)入涂層接觸基體金屬 硬度及耐磨性 硬度及韌性保證部件可進(jìn) 行二次加工從而保證精度, 耐磨性保證了部件的壽命 且不能過(guò)硬劃傷晶圓
    產(chǎn)品案例
    8/12寸晶圓花籃由于強(qiáng)度 載重原因,部分無(wú)法使用 超高純注塑材料,改用超 高純氧化硅/氧化鋁陶瓷材 料,但表面容易劃傷晶圓, 且接觸酸容易造成花籃腐 蝕損壞
    叉手在轉(zhuǎn)移晶圓的同時(shí), 會(huì)造成晶圓劃傷,需要表 面進(jìn)行防護(hù),同時(shí)材料需 要有防腐性保證飛濺的酸 堿不損壞轉(zhuǎn)運(yùn)臂

     純度:PPB級(jí) 
    厚度:400-800μm 
    耐酸:氫氟酸+硝酸 
    硬度:4H
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