|
參 數(shù) 名 稱 |
單 位 |
配置 |
|
沉積類型 |
|
碳化硅，氮化硅 |
|
電 源 |
|
射頻電源，帶正向功率和反射功率計指示，帶匹配器 |
|
加熱系統(tǒng) |
|
平板式雙反應室系統(tǒng)，帶加溫和勻氣系統(tǒng) |
|
工 作 溫 度 |
℃ |
1300~1800℃ |
|
基片臺尺寸 |
(φ×H)mm |
1英寸、二英寸、三英寸、四英寸 |
|
基片臺轉速 |
|
轉速0-20RPM |
|
控 溫 精 度 |
℃ |
±1 |
|
極限真空 |
pa |
6.67.0×10-5 |
|
密封系統(tǒng) |
|
磁流體密封 |
|
水冷、氣路系統(tǒng) |
|
冷卻水循環(huán)機、無噪聲氣泵 |
|
報警及保護 |
|
對缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警及相應保護措施 |
|
真空系統(tǒng)
（選 配） |
真空系列 |
單級機械泵、擴散泵機組、分子泵 |
|
工作腔體 |
不銹鋼 | |
|
氣氛系統(tǒng) |
浮子流量計、進口、國產質量流量計 | |
|
記錄裝置 |
進口、國產無紙記錄儀 | |
|
備注：西尼特可根據(jù)閣下要求提供各種非標產品的設計制造，歡迎來函、來電咨詢！
24小時熱線：400-668-6260 18610138965 Fax:010-51418223
cntdl@sina.com http://www.cimitdl.com | ||
