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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400橫河
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400橫河
產(chǎn)品價(jià)格:¥電議
上架日期:2011-08-06 10:04:46
產(chǎn)地:日本
發(fā)貨地:廣東深圳
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說(shuō)明

    日本橫河YOKOGAWA OX400低濃度氧化鋯氧分析儀

    橫河電機(jī)最新推出的氧分析儀OX400,是公司在該技術(shù)的長(zhǎng)期經(jīng)驗(yàn)積累和優(yōu)秀業(yè)績(jī)基礎(chǔ)上研發(fā)出來(lái)的。
    低濃度氧化鋯氧分析儀OX400的氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積專利技術(shù),在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接。這樣不僅預(yù)防剝離,還可以減小傳感器尺寸,確保高速響應(yīng)和長(zhǎng)壽命。
    低濃度氧化鋯氧分析儀OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用,并控制環(huán)境,空氣泄漏入惰性氣體及其他過(guò)程。

    • 用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐,以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制
    • 用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度,以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測(cè)量
    • 測(cè)量氧氣濃度,防止粉塵運(yùn)輸中粉塵

    >>特性

    使用壽命長(zhǎng),響應(yīng)速度快

    • 由于使用了橫河電機(jī)的新型薄膜沉積專利技術(shù),傳感器的壽命周期提高了三倍
    • 圓柱形傳感器設(shè)計(jì)便于置換被測(cè)氣體,確保高速響應(yīng)

    高性能和高可靠性

    • 即使在低氧濃度下,仍具有極高的精度和線性
    • 在不同應(yīng)用中,可選擇泵式或抽提采樣方式

    內(nèi)置功能和多種自診斷功能

    • 自帶多選擇器,自動(dòng)量程,特定量程以及泵開(kāi)/關(guān)功能
    • 提供多種自診斷功能,以檢測(cè)故障,如加熱器溫度錯(cuò)誤,溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯(cuò)誤

    出眾的維護(hù)性

    • 可現(xiàn)場(chǎng)更換傳感器
    • 小型輕量,易于安裝

    >>規(guī)格

    測(cè)量對(duì)象 惰性氣體中的氧氣濃度
    (易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體(包括水蒸氣)除外)
    測(cè)量系統(tǒng) 氧化鋯系統(tǒng)
    采樣方法 泵式,抽提式等
    樣氣條件 流速: 200 ± 25ml/min(僅用于傳感器)
    溫度: 0~50℃(無(wú)結(jié)露)
    濕度: 無(wú)結(jié)露
    壓力: 0~300PaG
    最大容許壓力: 30kPaG
    測(cè)量量程 0-10ppm O2至0-100vol% O2
    輸出量程
    自動(dòng): 0-10ppm,0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,0-100%(默認(rèn))其他: 可設(shè)為0- 0ppm,0- 00ppm,0-000 ppm,0- %,0- 0%,0-100%,1~9的整數(shù)
    固定: 設(shè)為0-10ppm,0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,或0-100%
    部分: 可設(shè)置下限值或上限值
    模擬輸出 2路輸出,
    一次: 4~20mA DC(最大負(fù)載電阻: 550Ω)
    二次: 可選為0~1,0~5,0~10V DC(負(fù)載電阻: 10kΩ或更大)
    接點(diǎn)輸出
    報(bào)警輸出2點(diǎn): 錯(cuò)誤接點(diǎn),O2濃度報(bào)警接點(diǎn)
    指定量程范圍輸出1點(diǎn): 接點(diǎn)輸出
    多選擇器(選配件): 流路切換接點(diǎn)輸出和測(cè)量中流路信息接點(diǎn)輸出
    接點(diǎn)輸入 1點(diǎn): 采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程O(píng)N/OFF
    自診斷
    錯(cuò)誤(故障): 傳感器錯(cuò)誤,加熱器溫度錯(cuò)誤,溫度傳感器斷開(kāi),設(shè)備溫度錯(cuò)誤,CPU錯(cuò)誤,F(xiàn)AN停止
    報(bào)警(警告): 加熱器不穩(wěn)定,傳感器錯(cuò)誤,電動(dòng)勢(shì)異常,非對(duì)稱電壓錯(cuò)誤錯(cuò)誤,標(biāo)定錯(cuò)誤,傳感器電阻錯(cuò)誤,O2濃度上/下限,超限
    串口通信 RS-232,38400 bps
    標(biāo)定方法 (1)3點(diǎn): 10ppm,1000ppm,空氣,(2)2點(diǎn): 可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣標(biāo)定,(3)1點(diǎn),(4)空氣標(biāo)定
    暖機(jī)時(shí)間 20分以內(nèi)
    電源 100 - 120V AC/220 - 240V AC,50/60Hz
    功耗 100~120V AC,200VA 最大,220~240V AC,400 VA 最大
    尺寸 213 (W) x 132 (H) x 約375 (D) mm
    質(zhì)量 約5kg
    管線連接 氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
    氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
    環(huán)境條件
    安裝條件: 室內(nèi),盤(pán)裝或壁裝,非易燃區(qū)域
    環(huán)境溫度: 0~40℃,無(wú)結(jié)露
    環(huán)境濕度: 5~85%RH
    儲(chǔ)存溫度: -5~50℃
    符合的安全標(biāo)準(zhǔn)
    和EMC標(biāo)準(zhǔn)
    安全標(biāo)準(zhǔn): 61010-1:2001
    EMC: EN 61326-1 Class A,Table 2(用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)) EN 61326-2-3,EN 61000-3-2,EN 61000-3-3

    重復(fù)性 ±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或100%)
    線性 ±2%F.S.
    ±3%F.S.(0~100ppm或更低)
    響應(yīng)時(shí)間 90%響應(yīng)
    10秒內(nèi)(0~1%或更高)
    30秒內(nèi)(小于0~1%)
    漂移 ±2%F.S./周

    型號(hào) 后綴代碼 選項(xiàng)代碼 描述
    OX400             低濃度氧分析儀
    電源(說(shuō)明1) -5           100-120VAC,50/60Hz
    -3           220-240VAC,50/60Hz
    采樣方法 -P         泵式
    -A         抽提式
    -N         無(wú)抽氣設(shè)備
    氣體接口 -R       Rc 1/4
    -T       1/4 NPT
    用戶手冊(cè) -J     日語(yǔ)版
    -E     英語(yǔ)版
    電纜(說(shuō)明1) -D   UL/CSA電纜(2M)
    -F   VDE電纜(2.5M)
    -H   GB電纜(2.5M)
    -Q   BS電纜(2M)
    -R   SAA電纜(2.5M)
    可選項(xiàng) 安裝硬件 /P 盤(pán)裝
    多選擇器功能 /MS 多選擇器功能
    過(guò)濾器 /F 活性碳過(guò)濾器(說(shuō)明2)

    OX400-3-P-R-E-F/P OX400-3-A-R-E-F/P OX400-3-N-R-E-F/P OX400-3-P-T-E-F/P OX400-3-A-T-E-F/P
    OX400-3-N-T-E-F/P OX400-3-P-R-E-H/P OX400-3-A-R-E-H/P OX400-3-N-R-E-H/P OX400-3-P-T-E-H/P
    OX400-3-A-T-E-H/P OX400-3-N-T-E-H/P OX400-3-P-R-E-Q/P OX400-3-A-R-E-Q/P OX400-3-N-R-E-Q/P OX400-3-P-T-E-Q/P OX400-3-A-T-E-Q/P OX400-3-N-T-E-Q/P OX400-3-P-R-E-R/P
    OX400-3-A-R-E-R/P OX400-3-N-R-E-R/P OX400-3-P-T-E-R/P OX400-3-A-T-E-R/P

    (說(shuō)明1)附帶接地端的雙芯電源電纜
            指定電源“-3”時(shí),不可指定后綴代碼為“-D”的電纜
    (說(shuō)明2)指定氣體接口“R”時(shí),附帶K9643KD過(guò)濾器(Rc1/4),指定氣體接口“T”時(shí),附帶K9643K過(guò)濾器(1/4NPT)。
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