膜厚測量儀 產(chǎn) 品 說 明 薄膜測量 薄膜厚度 新澤西Salt Point公司開發(fā)的薄膜監(jiān)測系統(tǒng)(TDS)，在寬帶溶解率監(jiān)測儀(DRM)中集成了一套海洋光學(xué)多通道光譜儀，用來分析半導(dǎo)體和光學(xué)工業(yè)中使用的超薄的抗蝕膜。 DRM幫助客戶確定膜層的厚度以及應(yīng)用抗蝕膜后的材料溶解速率這都是控制薄膜生產(chǎn)工藝的重要參數(shù)。在初始化測試中，薄膜監(jiān)測解決方案主要針對膜厚<300nm的應(yīng)用，相對而言，傳統(tǒng)的單色和多色干涉測量方法在該測量應(yīng)用中的效果較差。在測試中，TDS采用了一個SD2000雙通道光譜儀，通過一個R系列反射探頭來實現(xiàn)反射式測量。 TDS在其網(wǎng)站上的報告中的結(jié)果顯示了多波長DRM系統(tǒng)能夠在離散的時間間隔內(nèi)測定薄膜厚度，傳統(tǒng)的DRM系統(tǒng)要監(jiān)測光阻材料比較困難，并且，通過免去了對離散的靜態(tài)的光學(xué)厚度測量工具的需求，也給研究者提供了相應(yīng)附加值。 目前，TDS提供了1-, 2-, 4- 和8-通道的配置。TDS最近正好發(fā)布了它的L系列DRM產(chǎn)品線，新產(chǎn)品可以用于光阻材料的研發(fā)，配方研究，光阻材料生產(chǎn)的質(zhì)量控制，以及聚合樹脂生產(chǎn)的質(zhì)量控制。L系列產(chǎn)品線包括多波長和多層分析算法，實現(xiàn)對零度薄膜的離散厚度測量，并且提供非線性溶解速率現(xiàn)象的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。更詳細(xì)的信息請訪問：www.thicknessdetection.com. 概要 附著在基底上的薄膜就如同一個標(biāo)準(zhǔn)具，當(dāng)觀察其表面的反射率時會看到一幅干涉條紋圖樣。當(dāng)組合不同折射率的材料時，條紋間隔的正弦曲線分布可以用來計算此薄膜的厚度。 光譜儀 USB4000-VIS-NIR (350-1000nm)適合用于薄膜的反射測量。光譜儀預(yù)先配置了#3光柵，它的閃耀波長在500nm；一個OFLV-350-1000濾光片可以屏蔽二級和三級衍射效應(yīng)；以及一個25μm 狹縫，可以得到~1.5nm (FWHM)的光學(xué)分辨率。 取樣光學(xué)元件 R400-7-VIS/NIR反射式探頭，90°測量薄膜表面的鏡面反射。再加上一個LS-1鹵鎢燈光源和一個STANSSH高反射率鏡面反射標(biāo)準(zhǔn)參考，組成一套取樣配置。 測量 從海洋光學(xué)的操作軟件中(見上圖)可以觀察到由薄膜基底的膜層產(chǎn)生的干涉光譜。分析最大值和最小值處的波長可以確定薄膜的厚度(已知薄膜的折射率)或者確定它的折射率(已知薄膜的厚度)。需要注意的是，樣本的厚度可能不是均勻的；建議測量薄膜的多個位置點(diǎn)
【激光系列產(chǎn)品】
固體激光器 半導(dǎo)體激光器 氣體激光器 氬離子激光器 光纖激光器 大功率光纖耦合激光器 皮秒激光器 飛秒激光器 調(diào)Q脈沖激光器 激光二極管控制器 激光功率計 激光護(hù)目鏡 激光波長測量 激光光束分析儀 多通道激光功率計 大功率激光器 激光光束位置測量儀 激光擴(kuò)束鏡 激光準(zhǔn)直器 紅外激光顯示卡 紅外激光觀察儀 紅外觀察儀 激光測距儀 激光器溫度控制器 激光光纖耦合器 高穩(wěn)定性激光器 相干型激光器 自相關(guān)儀 飛秒激光倍頻器 可變光闌 便攜式激光器 染料激光器 激光光譜測量 熱電制冷片 激光光束定位系統(tǒng) 視頻顯微鏡測量系統(tǒng) 2微米光纖激光器 飛秒光纖激光器 皮秒光纖激光器 脈沖光纖激光器 光纖隔離器 拉曼激光器 光功率計 飛秒激光脈沖自相關(guān)儀 激光二極管參數(shù)分析儀 激光二極管電流控制器
【光譜測試儀器】
光纖光譜儀 微型光纖光譜儀 高分辨率光譜儀 高靈敏度光譜儀 制冷型光譜儀 中紅外光譜儀 熒光光譜儀 拉曼光譜儀 極紫外光譜儀 真空紫外光譜儀 多通道光譜儀 教學(xué)型光譜儀 LED光測量光譜儀 色坐標(biāo)色溫測量儀 燈具光譜測量儀 透射譜吸光度光譜儀 絕對輻射光譜儀 流體吸光度光譜儀 流體熒光光譜儀 膜厚測量儀 橢偏儀 太陽能電池IPCE測量系統(tǒng) 太陽能電池QE測量系統(tǒng) 太陽能電池光譜響應(yīng)系統(tǒng) 單色儀 濾光片輪 濾光片透射率測試儀 太赫茲光譜儀 等離子體光譜儀 環(huán)境輻射儀 近紅外光譜儀 元素分析儀 氧含量測量 信號發(fā)生器 近紅外谷物接收系統(tǒng) 顆粒分析儀 熒光壽命光譜儀 三維表面輪廓儀 微型光譜儀
【光學(xué)精密機(jī)械】
干涉儀 光學(xué)平臺 光學(xué)鏡架 手動平移臺 手動旋轉(zhuǎn)臺 手動擺動臺 手動組合平臺 電動平移臺 電動轉(zhuǎn)動臺 電動擺動平臺 電動組合平臺 壓電陶瓷平臺 壓電陶瓷制動器 高穩(wěn)定防震平臺
【光源】
氙燈光源 氘燈光源 氘鹵雙光源 LED光源燈 光催化氙燈光源 積分球 積分球均勻光源 太陽模擬器 紫外固化機(jī) 寬帶超連續(xù)光源 顯微鏡光源
【光學(xué)影像】
紫外CCD相機(jī) 近紅外CCD相機(jī) 制冷型CCD相機(jī) 高速相機(jī) 夜視儀 顯微鏡 CID相機(jī) 熱像儀
【探測器】
照度計 亮度計 輻射計 便攜式色差計 太陽光功率計 快速反應(yīng)探測器 前置放大探測器 光纖耦合探測器 液氮制冷探測器 皮秒超快探測器 位敏探測器 四象限探測器 雙色探測器 紫外輻照計 硅光電探測器 近紅外探測器 中紅外探測器 雪崩二極管 光電倍增管
【光學(xué)元件】
窗片/窗口 反射鏡 透鏡 光學(xué)基片 分光鏡 棱鏡 晶體 濾光片 波長板 擴(kuò)散板 起偏器 光學(xué)鏡頭 光纖產(chǎn)品 光柵尺 紅外鏡頭 光柵
【光通信儀器】
ASE光源 光接收機(jī) 光纖放大器 光發(fā)射機(jī) 光通信激光器 光功率計 可調(diào)諧激光光源 光纖測量系統(tǒng) 光衰減器 光纖熔接機(jī) 光通信探測器 光調(diào)制器 傳感器解調(diào)儀 SLED光源 SLED模塊 多波段SLED光源 大功率EDFA 光收發(fā)機(jī) 激光發(fā)射機(jī) 拉曼EDFA組合放大器 拉曼泵浦模塊 偏振光合束器 拉曼放大器 保偏EDFA 摻鐿光纖放大器 摻鐿光纖放大器模塊 半導(dǎo)體光放大器 大功率光纖放大器 光接收機(jī)模塊 半導(dǎo)體光放大器模塊 40通道多路復(fù)用器 1064nm穩(wěn)定的激光器光源 DWDM多路復(fù)用器 FBG光纖耦合激光器光源 FBG激光光源模塊 波長掃描激光器 單模背射儀 電控可變光衰減器 多波長儀 多通道可變光衰減器 光波元器件分析儀 光放大器分析儀 光網(wǎng)絡(luò)測試儀 光網(wǎng)絡(luò)分析儀 光纖干涉儀 回波損耗儀系統(tǒng) 可調(diào)諧光濾波器 色散補(bǔ)償模塊 微型光時域反射儀 蝶形激光器/DFB激光器 大功率蝶形激光器 寬帶RF放大器模塊 寬帶RF放大器 DFB蝶形激光器 DFB激光器模塊 DWDM光分插模塊 980nm泵浦激光器 ASE光源模塊 C＋L波段ASE光源 CWDM 2mW DFB激光器 F-P激光器 保偏隔離器 大功率保偏隔離器 大功率光隔離器 光隔離器 光開關(guān)模塊 可調(diào)諧C波段激光器 外調(diào)制激光器 拉曼放大器泵浦激光器/EDFA泵浦激光器 便攜式光時域反射儀
【生物分析儀器】
動物注射泵 樣品均質(zhì)器 粘合劑分配器 蠕動泵 搖擺振蕩器 細(xì)胞分離/勻漿漩渦混合器