MKS質(zhì)量流量計(jì)1179A00423CR1BV氣體Ar 2000sccm
LAM796-055344-005水蒸汽輸送模塊brooksinstrument VDM300
27-126062-00 3310-01071 ？； 1350-01027 ？； 1350-01021 ？； 60-10006-00 275821 3310-01055 275185 27-126029-00 629B-15894
美國(guó)CTI-Cryogenics 、CVI、Austin，德國(guó)Leybold、日本Anelva、住友重工 (SHI、APD 、Daikin)、 ULVAC、Suzuki等公司低溫泵 冷凝泵。
提供GM及SV 冷凝泵 低溫泵 的配件。
下面是出售的部分冷泵及配件（還有很多配件沒(méi)有上傳，歡迎來(lái)電咨詢）：
ON BOARD 8F CRYOPUMP AMAT ENDURA 8116143G001
CTI-TOR8
Cryo-Torr Interface 8135903G001
Granville-Phillips Vacuum Guage Controller NR
15K High Capacity Array
CTI Maintenance Kits
Helium Line AMAT 3400-01109 CTI 8043086G240
TC Gauge 8112105
Cryo-Torr Interface 8135903G001
mks TYPE670真空計(jì)校準(zhǔn)儀690傳感器
722C01TCD2FJ電子真空計(jì)MKS真空壓力計(jì) 1TORR 4VCR
brooksinstrument VDM300維修與銷售lam796-055344R007
MKS MFVC-29886 MKS MFVC-34785 MKS MFVC-32497 MKS VODMB-26565 LAM 797-004456R005 MKS390100-YG 275071 392100-YE MKS-226A-29571 AMAT0190-50856 0190-51152 MKS649A12T51CAMR 1179A01922CR1AV-K MKS GE50A-30351
BROOKS AUTOMATION控制器維修978-262-2900（165463）
MKS SENTRY 1510流量計(jì)AERA EPV100-AW
TEL設(shè)備流量計(jì)維修ckd tpr4-35-A100T-X0002
cooling
美國(guó)FIL-TECH 對(duì)流表CONVECTION GAUGES CVG101GA/101GB/1
mks真空計(jì)356004-YG-THORIBA VALVE全新原件0190-36237流量計(jì)
MKS390521-3-YH-T-0018GRANVILLE-PHillips 真空計(jì)AMAT氣體流量計(jì)0190-51152
Granville-Phillips 隔膜規(guī)390628-0-YE-T 390B6636
MKS 390628–0-YE MKS GRANVILLE-PHILLIPS gauge P/N：390628–0-YE-T 390628-0-YE-T 390B6636
GRANVILLE PHILLIPS 390 Series Micro-Ion gauge ATM Module:
PN:390628-0-YE-T,
PN:390506-3-YE-T,
P
加熱元件的發(fā)熱越有效，需要對(duì)它們進(jìn)行的加熱就越少。Plansee 研發(fā)了一種能夠最大化熱輸出的涂層工藝。
CTI(Ulvac)低溫泵和氦氣壓縮機(jī)維修、銷售和技術(shù)咨詢8200/9600
CTI(Ulvac)低溫泵和氦氣壓縮機(jī)維修、銷售和技術(shù)咨詢。
OB8F:
OEM (CTI) Refurbished CTI Cryogenics Endura 8F Onboard Cryogenic Vacuum Pump.
. Utilized on AMAT Endura HP PVD Systems, OEM Refurbished to Like New Condition.
. Certificate of manufactures conbity attached.
. ConFlat Flange with Copper Gasket. In OEM Box
. CTI Part # 8116143G001 Serial # A06423485 AMAT Part # 0190-13371
8200: 8032559G001
美國(guó)CTI壓縮機(jī)維修9600: 8135900G001
MKS354005-YD-T
INFICON BAG302 B-A 型熱陰極電離真空計(jì)(中高真空計(jì))
INFICON 單臺(tái) Bayard-Alpert 熱離子計(jì) BAG302 的測(cè)量范圍從 1.3 × 10-9 到 6.7×10-2 mbar（1 × 10-9 到 5 × 10-2 Torr）。緊湊型一體化熱離子計(jì)BAG302提供易于更換的雙燈絲傳感器，內(nèi)置OLED顯示屏，設(shè)定點(diǎn)繼電器和對(duì)數(shù)線性模擬輸出以及集成的RS485數(shù)字接口，可提高集成靈活性。這些功能與堅(jiān)固的設(shè)計(jì)相結(jié)合，使BAG302成為一種經(jīng)濟(jì)實(shí)惠且可重復(fù)的過(guò)程，可作為自己的壓力測(cè)量?jī)x器的基礎(chǔ)，并提供高價(jià)值/低擁有成本的選擇。
INFICON 的 BAG302 熱離子計(jì)是下面列出的 MKS/GP 部件號(hào)的直接直接替代品。 這還包括較舊的傳統(tǒng) MKS 354 微離子®模塊。
| MKS系列 | 部件號(hào) | 顯示 | 單位 | 輸出 | 法蘭型 | 燈絲 | INFICON部件號(hào) |
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355 微離子®
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355400-0-碼 | 不 | 托 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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355 微離子®
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355400-0-葉-T | 不 | 托 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 355 微離子® | 355400-0-YK-T | 不 | 托 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 355 微離子® | 355400-0-YF-T | 不 | 托 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 355 微離子® | 355400-0-YG-T | 不 | 托 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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355 微離子®
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355400-0-碼 | 不 | 毫巴 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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355 微離子®
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355400-0-葉-T | 不 | 毫巴 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
| 355 微離子® | 355400-0-YK-T | 不 | 毫巴 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 355 微離子® | 355400-0-YF-T | 不 | 毫巴 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 355 微離子® | 355400-0-YG-T | 不 | 毫巴 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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355 微離子®
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355400-0-碼 | 不 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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355 微離子®
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355400-0-葉-T | 不 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 355 微離子® | 355400-0-YK-T | 不 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 355 微離子® | 355400-0-YF-T | 不 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 355 微離子® | 355400-0-YG-T | 不 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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355 微離子®
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355600-0-碼 | 發(fā)光二極管 | 托 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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355 微離子®
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355600-0-葉-T | 發(fā)光二極管 | 托 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
| 355 微離子® | 355600-0-YK-T | 發(fā)光二極管 | 托 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 355 微離子® | 355600-0-YF-T | 發(fā)光二極管 | 托 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 355 微離子® | 355600-0-YG-T | 發(fā)光二極管 | 托 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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355 微離子®
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355600-0-碼 | 發(fā)光二極管 | 毫巴 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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355 微離子®
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355600-0-葉-T | 發(fā)光二極管 | 毫巴 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 355 微離子® | 355600-0-YK-T | 發(fā)光二極管 | 毫巴 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 355 微離子® | 355600-0-YF-T | 發(fā)光二極管 | 毫巴 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 355 微離子® | 355600-0-YG-T | 發(fā)光二極管 | 毫巴 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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355 微離子®
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355600-0-碼 | 發(fā)光二極管 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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355 微離子®
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355600-0-葉-T | 發(fā)光二極管 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 355 微離子® | 355600-0-YK-T | 發(fā)光二極管 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 355 微離子® | 355600-0-YF-T | 發(fā)光二極管 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 355 微離子® | 355600-0-YG-T | 發(fā)光二極管 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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355 微離子®
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355410-0-碼 | 不 | 托 | RS485 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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355 微離子®
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355410-0-葉-T | 不 | 托 | RS485 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 355 微離子® | 355410-0-YK-T | 不 | 托 | RS485 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 355 微離子® | 355410-0-YF-T | 不 | 托 | RS485 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 355 微離子® | 355410-0-YG-T | 不 | 托 | RS485 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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354 微離子®
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354001-YD-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 托 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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354 微離子®
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354001-YE-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 托 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 354 微離子® | 354001-YK-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 托 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 354 微離子® | 354001-YF-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 托 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 354 微離子® | 354001-YG-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 托 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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354 微離子®
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354001-YD-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 毫巴 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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354 微離子®
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354001-YE-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 毫巴 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 354 微離子® | 354001-YK-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 毫巴 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 354 微離子® | 354001-YF-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 毫巴 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 354 微離子® | 354001-YG-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 毫巴 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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354 微離子®
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354001-YD-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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354 微離子®
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354001-YE-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 354 微離子® | 354001-YK-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 354 微離子® | 354001-YF-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 354 微離子® | 354001-YG-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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354 微離子®
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354002-YD-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 托 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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354 微離子®
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354002-YE-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 托 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 354 微離子® | 354002-YK-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 托 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 354 微離子® | 354002-YF-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 托 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 354 微離子® | 354002-YG-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 托 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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354 微離子®
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354002-YD-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 毫巴 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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354 微離子®
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354002-YE-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 毫巴 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 354 微離子® | 354002-YK-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 毫巴 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 354 微離子® | 354002-YF-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 毫巴 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 354 微離子® | 354002-YG-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 毫巴 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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354 微離子®
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354002-YD-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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354 微離子®
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354002-YE-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 354 微離子® | 354002-YK-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 354 微離子® | 354002-YF-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 354 微離子® | 354002-YG-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 發(fā)光二極管 | 帕斯卡 | 模擬 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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354 微離子®
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354005-YD-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 托 | RS485 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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354 微離子®
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354005-YE-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 托 | RS485 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 354 微離子® | 354005-YK-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 托 | RS485 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 354 微離子® | 354005-YF-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 托 | RS485 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 354 微離子® | 354005-YG-T （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 托 | RS485 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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354 微離子®
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354005-YD-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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354 微離子®
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354005-YE-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 354 微離子® | 354005-YK-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 354 微離子® | 354005-YF-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 354 微離子® | 354005-YG-M （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 毫巴 | RS485 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
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354 微離子®
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354005-YD-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 16 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-050 |
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354 微離子®
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354005-YE-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 25 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-051 |
| 354 微離子® | 354005-YK-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 40 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)-KF | 釕涂層銥 | 352-052 |
| 354 微離子® | 354005-YF-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 16 CF-R | 釕涂層銥 | 352-053 |
| 354 微離子® | 354005-YG-P （傳統(tǒng)產(chǎn)品） | 不 | 帕斯卡 | RS485 | DN 40 CF-R | 釕涂層銥 | 352-054 |
ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的簡(jiǎn)稱，中文名稱為阿斯麥（中國(guó)大陸）、艾司摩爾（中國(guó)臺(tái)灣）。艾司摩爾（ASML）為半導(dǎo)體設(shè)備供貨商，成立于1984年，是從荷商飛利浦分割出來(lái)獨(dú)立的半導(dǎo)體設(shè)備公司，總部設(shè)立于荷蘭的Veldhoven。
ASML為半導(dǎo)體生產(chǎn)商提供光刻機(jī)及相關(guān)服務(wù)，TWINSCAN系列，應(yīng)用最為廣泛的高端光刻機(jī)型。目前全球絕大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商，都向ASML采購(gòu)TWINSCAN機(jī)型，例如英特爾（Inb），三星（Samsung），海力士（Hynix），臺(tái)積電（TSMC），中芯國(guó)際（SMIC）等。
ASML的產(chǎn)品線分為PAS系列，AT系列，XT系列和NXT系列，其中PAS系列光源為高壓汞燈光源，現(xiàn)已停產(chǎn)，AT系列屬于老型號(hào)，多數(shù)已經(jīng)停產(chǎn)。市場(chǎng)上主力機(jī)種是XT系列以及NXT系列，為ArF和KrF激光光源，XT系列是成熟的機(jī)型，分為干式和沉浸式兩種，而NXT系列則是現(xiàn)在主推的高端機(jī)型，全部為沉浸式。
