深圳市天鉉真空技術有限公司日本愛發(fā)科真空鍍膜機坩堝，鍍鍋，坩堝蓋板
型 式：1300DBI
產品參數(shù)：
產品名：
GENER-1300DBI
型 式：
1300DBI
產品參數(shù)：
產品參數(shù)：
真空室SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架Ф1200mm
工件架轉速10rpm to 30rpm(可變)
光學膜厚控制 HOM2-R-VIS400A（可選）
光學膜厚監(jiān)控儀波長范圍：400nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚計XTC/3+6點式水晶傳感器
蒸發(fā)源電子槍2套
離子源GL離子源
排氣系統(tǒng)機械泵
1個擴散泵
Polycold
性能
達到壓力5.0×10-5Pa以下
排氣時間15分
（大氣壓～1.3×10-3Pa）
基板溫度高：350℃
工作條件
設備尺寸約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
電源3相,200v,50/60Hz,約101KVA
水流量140升/分以上
空氣壓力0.5MPa以上
重量約9000kg
產品名：GENER-1300DBI
