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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
英??等卢F(xiàn)貨IC6薄膜沉積控制器INFICON
英??等卢F(xiàn)貨IC6薄膜沉積控制器INFICON
產(chǎn)品價(jià)格:¥59999
上架日期:2021-09-17 21:04:40
產(chǎn)地:德國(guó)
發(fā)貨地:深圳
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺(tái)
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詳細(xì)說(shuō)明

    IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

    功能豐富的 IC6 提供測(cè)量精度

    IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上,增添了更多獨(dú)特的功能,可幫助您實(shí)現(xiàn)沉積過(guò)程的價(jià)值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測(cè)量系統(tǒng),提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測(cè)量,速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 ?/s,是行業(yè)中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶體控制器無(wú)法比擬的性能、品質(zhì)和功能,賦予您的過(guò)程卓越的可重復(fù)性。

     




    功能
    • INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得高、穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率,即使在速率極低的情況下
    • Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測(cè)量的精度
    • 支持最多六個(gè)來(lái)源同時(shí)共鍍膜
    • 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過(guò)程的進(jìn)展?fàn)顩r
    • 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
    • USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄
    • 強(qiáng)大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)(使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器,14 TTL 輸出),并充分利用邏輯功能(100 個(gè)邏輯語(yǔ)句)
    • 6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來(lái)源控制、速率或厚度監(jiān)控
    • 可容納最多 50 個(gè)過(guò)程,每個(gè)過(guò)程 200 層,這些過(guò)程關(guān)聯(lián)到一起,總共可容納 10,000 層。
    • 多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器
    • 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜
    • 可選以太網(wǎng)通信
    • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

    典型應(yīng)用

    • 高端光學(xué)鍍膜

    零件號(hào)


    規(guī)格



    測(cè)量性能  
    頻率分辨率 ±0.0035 Hz @ 6 MHz
    厚度和速率分辨率/測(cè)量 (1) ±0.00433 ?
    測(cè)量頻率范圍 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
    厚度精度 (2) 0.5%
    測(cè)量周期 0.10 s
    多個(gè)測(cè)量值平均 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
    設(shè)計(jì)功能  
    Auto Z yes
    自動(dòng)色調(diào) yes
    共沉積 yes (up to 6 sources)
    過(guò)程配方和數(shù)據(jù)管理  
    材料計(jì)劃 32
    過(guò)程層(每個(gè)過(guò)程) 200
    過(guò)程 50 (processes can be bed together)
    USB 存儲(chǔ)器 yes
    數(shù)據(jù)記錄 yes
    硬件功能  
    傳感器 (3)  
    8
    雙 / CrystalTwo® 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
    CrystalSix® 8
    Crystal 12® 8
    通用 8

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    企業(yè)信息
    深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司
    會(huì)員級(jí)別:試用會(huì)員
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    聯(lián)系人:張志通()
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    聯(lián)系手機(jī):13510223365
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