SET3/1064/532/355，SFT3：激光刻阻機/激光修阻機/激光調(diào)阻機
激光調(diào)阻機的產(chǎn)品特點：
調(diào)阻精度高：先進(jìn)的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細(xì)線寬的激光束；四線制高速測量系統(tǒng)，測量時間僅為25us；擁有軟件預(yù)調(diào)誤差補償功能；
調(diào)阻速度快：先進(jìn)的激光器擁有極高的重復(fù)頻率，在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度；德國進(jìn)口掃描振鏡，掃描速度極快；高精度分步重復(fù)機構(gòu)，空氣軸承，移動速度及加速度快；
可靠性高：整機配置核心器件均采用原裝進(jìn)口配置；采用花崗巖臺座，穩(wěn)定可靠；
功能強大：擁有溫度實時補償功能；同時具有激光劃片和打標(biāo)功能；
運行及維護(hù)成本低廉：采用半導(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器；使用壽命長，性能穩(wěn)定；電光轉(zhuǎn)換效率高，節(jié)約用電成本；采用風(fēng)冷系統(tǒng)，無須外置冷卻設(shè)備；操作簡單，無須高額培訓(xùn)成本；
激光調(diào)阻機技術(shù)參數(shù)：
激光器系統(tǒng)：
激光類型：半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器
激光波長：1064/532/355nm
激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)
激光頻率：200Hz-50KHz
典型光斑尺寸：30μm
實際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光最小光斑達(dá)12μm
泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時
冷卻方式：風(fēng)冷
對焦方式：計算機程序控制
激光束定位系統(tǒng)：
激光束運動范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格）
點到點運動時間：5ms（典型）
最大速度：7000mm/s
重復(fù)定位精度：2.5μm
激光束最小步進(jìn)：0.76μm
圖像監(jiān)視系統(tǒng)：
監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視
最大放大倍數(shù)：>100倍
圖像監(jiān)視顯示屏：19寸液晶
測量系統(tǒng)：
激勵方式：電流/電壓激勵
恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇
恒壓源：0~20V計算機程控選擇（可選其它電壓范圍）
電阻測量方式：四線制加電流測電壓
直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）
調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定
電阻測量精度：低阻：<0.05%+1%/R （R<100Ω）
中阻：<0.05%
高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）
電阻測量范圍：0.01Ω-500MΩ
電阻測量速度：25μs
直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）
探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格）
探針板運動：計算機程序控制
計算機及軟件系統(tǒng)：
工業(yè)控制計算機（雙核），17寸液晶
操作系統(tǒng)：Windows XP
VB平臺開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，功能強大
分步重復(fù)運動系統(tǒng)：
運動XY范圍：290x260mm
運動分辨率：1μm
定位精度：小于6μm（帶誤差補償）
重復(fù)定位精度：小于3μm
最大運動速度：900mm/s
具有溫度補償?shù)裙δ?/FONT>
非接觸溫度測量：
溫度測量精度：0.2℃
調(diào)阻溫度修正：計算機程序控制
其它技術(shù)指標(biāo)：
供電電壓：220V AC
整機功耗：小于1000W
激光調(diào)阻機應(yīng)用和市場：主要應(yīng)用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、軍工科研、片式電阻等行業(yè)。
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