一般綜合利用蒸餾、化學(xué)處理、氣體吸收、顆?？刂萍皝喎姓麴s等多種方法來(lái)制備超高純HF，滿足各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)。蒸餾設(shè)備還需考慮高溫下材質(zhì)的抗腐蝕性,一般用金、鉑、銀等或聚四氟乙烯制造。此外,生產(chǎn)裝置的設(shè)計(jì)取決于工藝流程的布置,利用物料自然向下流動(dòng)的垂直布置能夠在中部制備高純HF,底部過(guò)濾產(chǎn)品、罐裝及貯存,能減少泵的輸送,節(jié)約能量并降低成本,避免二次污染。電子級(jí)HF的生產(chǎn)流程:經(jīng)過(guò)化學(xué)預(yù)處理的工業(yè)無(wú)水HF送入精餾塔進(jìn)行精餾得到HF氣體;冷卻HF并送人吸收塔,吸收用超純水,任液比與噴淋密度繼續(xù)純化電子級(jí)HF。
