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產(chǎn)品簡介
等離子刻蝕機
等離子刻蝕機
產(chǎn)品價格:¥10
上架日期:2011-06-02 10:02:59
產(chǎn)地:
發(fā)貨地:廣東東莞
供應數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細說明
     等離子體刻蝕設備應用于刻蝕硅片邊沿的硅磷層,擴散過程中,不但硅片的表面擴散上了磷,硅片邊緣也擴散上了磷,這會導致硅片正反兩極通過邊緣導通短路。所以必須將硅片邊緣這層被擴散上的硅磷去掉,大概去除1到3個微米。硅片在刻蝕機內水平旋轉,通入的反應氣體為四氟化碳、氧、和氮氣。其原理是在放電狀態(tài)下反應氣體四氟化碳、氧氣和硅片邊緣的硅化合物發(fā)生反應生成硅,反應形成粉未和氣態(tài)物質后隨氣流一起被抽走等。
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