概述：
NLWYGH-L系列無(wú)氧烘箱箱體的尺寸大小可以用戶需求進(jìn)行設(shè)計(jì)生產(chǎn)，應(yīng)用于半導(dǎo)體、芯片、固化封閉、金屬表面處理等高端科研、制造行業(yè)。通過(guò)抽空、充注惰性氣體進(jìn)行工藝預(yù)處理。
NLWYG-L無(wú)氧烘箱選型表
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常規(guī)型號(hào) |
NLYW-G-H |
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234L |
392L |
576L |
810L |
1ML |
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內(nèi)部尺寸 |
深mm |
600 |
700 |
800 |
900 |
1000 |
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寬mm |
650 |
700 |
800 |
900 |
1000 |
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高mm |
600 |
800 |
800 |
1000 |
1000 |
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外部尺寸 |
深mm |
850 |
1300 |
1400 |
1500 |
1600 |
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寬mm |
950 |
1100 |
1200 |
1300 |
1400 |
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高mm |
1550 |
1200 |
1200 |
1400 |
1400 |
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性能指標(biāo) |
溫度范圍 |
RT+10～200/300/400/500/600/700/800℃ |
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溫度指標(biāo) |
波動(dòng)度≤±0.5℃，溫度均勻度≤±2.5% |
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升溫時(shí)間 |
RT～600℃≤90min |
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抽空極限 |
≤-133Pa/-50Pa/-10pa |
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補(bǔ)氣方式 |
惰性氣體/特殊氣體 （用戶自備氣體） |
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抽補(bǔ)控制 |
自動(dòng)控制（先抽到設(shè)定真空度再充入惰性氣體） |
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氧傳感器 |
配氧濃度監(jiān)控系統(tǒng) |
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壓力傳感器 |
配高壓監(jiān)控/卸壓系統(tǒng) |
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結(jié)構(gòu)材質(zhì) |
外殼材質(zhì) |
冷軋鋼板靜電噴粉（白色） |
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內(nèi)膽材質(zhì) |
不銹鋼板（內(nèi)承壓方式） |
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保溫材質(zhì) |
超細(xì)玻璃纖維 |
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控制系統(tǒng) |
加熱方式 |
合金電加熱器 |
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內(nèi)部循環(huán) |
磁流體/長(zhǎng)軸電機(jī)傳動(dòng)箱內(nèi)風(fēng)葉進(jìn)行強(qiáng)制鼓風(fēng)循環(huán) |
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冷卻方式 |
停止加熱自然冷卻方式 |
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測(cè)試孔 |
≥10芯法蘭接口 |
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數(shù)據(jù)儲(chǔ)存與擴(kuò)展接口 |
可選SD卡、RS485、USB |
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裝機(jī)功率 |
Kw |
8 |
13 |
16 |
25 |
35 |
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電源要求 |
220\380V±10%，50HZ±1，三相四線+接地線，保護(hù)接地電阻＜4Ω |
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環(huán)境條件 |
使用條件 |
5～40℃、相對(duì)濕度≤85%R.H時(shí)，可滿足全部指標(biāo) |
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滿足標(biāo)準(zhǔn) |
GB、GJB |
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聲明: 1. 除以上所列規(guī)格外，可根據(jù)用戶要求進(jìn)行非標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造。 2. 因產(chǎn)品更新導(dǎo)致的參數(shù)、外觀更改，恕不另行通知。 |
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