供應(yīng)TORAY酸素濃度計(jì)MS-500用于半導(dǎo)體行業(yè) 氧氣分析儀
供應(yīng)TORAY酸素濃度計(jì)MS-500用于半導(dǎo)體行業(yè) 氧氣分析儀
供應(yīng)TORAY酸素濃度計(jì)MS-500用于半導(dǎo)體行業(yè) 氧氣分析儀
特點(diǎn)
可同時(shí)測量8個(gè)點(diǎn)
可以顯示從ppm水平到100%的廣泛濃度。
適合搭載在半導(dǎo)體制造裝置、真空裝置等上
傳感器為直插式（真空用NW法蘭16/25/40）
對(duì)高耐久的傳感器實(shí)施特殊涂層，進(jìn)一步提高耐久性
規(guī)格
測量原理氧化鋯濃淡電池式
形狀分離型（轉(zhuǎn)換器：壁掛式、傳感器：直插式）
顯示方式數(shù)字4位顯示（濃度顯示）
測量范圍0-1/100/100/1000ppm/1/10/100vol%O2-10-20～10-0atm
自動(dòng)范圍
重復(fù)性±0.5%FS以內(nèi)0-1%范圍以上
±1%FS以內(nèi)或±0.1ppm大的一方0-1%范圍以下
0-1ppm，atm范圍在濃度保證范圍外
測定點(diǎn)數(shù)1～8
樣品氣體條件壓力10-3～200KPa（壓力）
流速0.5～5000 mL/min或0 mL/min（自然擴(kuò)散狀態(tài)的測定）
濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度0～100℃
其他腐蝕性氣體（含氟氣體、硫化氣體等）、含有機(jī)硅氣體、可燃成分（也含氣體）、油分、不含水分
比較氣體大氣
僅記錄計(jì)輸出傳輸輸出
傳輸輸出RS-232C
無警報(bào)輸出
預(yù)熱時(shí)間6分鐘以內(nèi)
尺寸MS-500（控制器）92（W）×44（H）×120（D）（不含突起部）
S-510（轉(zhuǎn)換器）100（W）×40（H）×88（D）（不含突起部）
傳感器單元SD16NW全長100mm（傳感部Φ11×39，機(jī)身部Φ40×51）
SD25NW全長100mm（傳感部Φ11×42、軀體部Φ40×48）
SD40NW全長100mm（傳感部Φ11×41、軀體部Φ40×49）
質(zhì)量MS-500（控制器）約0.6Kg
S-510（轉(zhuǎn)換器）約0.5kg
傳感器單元SD16NW約0.2Kg
SD25NW約0.2Kg
SD40NW約0.35Kg
外部連接真空法蘭（NW16、25、40）中任一種
使用電源24VDC±10%
