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P采取先進設計技法 在 Chamber 及 Door 防止 Crack, 具備堅固的門

保證薄膜均勻性及重復性

按照物質(zhì)分蒸發(fā)特性采用可變修正板保證 Dome 全體的均勻性, Batch 之間質(zhì)量無變.

簡便性

不熟練工作人員也會使用, 可以按使用者的要求來控制項目，顯示出發(fā)生故障時 原因及解決方案.

提供工藝管理

提供 Process recipe 及 Data Logging，很容易管理工藝和質(zhì)量.

大量生產(chǎn)對應

按照驗收標準進行徹底的驗收，交付設備反映了客戶要求事項，安裝后短時間內(nèi)可以大量生產(chǎn).