天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經(jīng)銷SEMILAB激光橢偏儀LE-103PV
產(chǎn)品型號:LE-103PV
產(chǎn)品介紹:用于硅太陽能電池的激光橢偏儀 緊湊型創(chuàng)新設(shè)備,旨在測量沉積在紋理硅(單硅和多硅)襯底上的抗反射涂層的厚度和光學(xué)常數(shù)。可以輕松實現(xiàn)優(yōu)化的入射角(12-90°),以獲得沉積在多晶結(jié)構(gòu)晶圓上的薄膜的大信號。金字塔結(jié)構(gòu)可以定向以獲得正確的測量值,同時將樣品牢固地保持在適當(dāng)?shù)奈恢谩?/span>
性能特點:
確定減反射涂層的薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)(折射率和消光系數(shù))
用于穩(wěn)定性和自動校準的集成光學(xué)元件
微點聚焦光學(xué)元件,用于良好信號收集。
特別改裝的樣品架,適用于 156×156 mm 的樣品池尺寸。
在線集成,實現(xiàn)快速過程控制。
符合智能軟件標準。
樣品對準:用于手動傾斜和高度調(diào)整的大信號檢測。
參數(shù):
測量波長:632.8 nm(氦-Ne激光)
樣品臺:兼容 156 × 156 mm
測角儀:55° - 90° 手動控制
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