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產(chǎn)品簡介
4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手
4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手
產(chǎn)品價格:
上架日期:2022-07-20 16:59:47
產(chǎn)地:本地
發(fā)貨地:本地至全國
供應數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細說明
    4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手



    4軸圓柱坐標潔凈_防水式搬運機械手特點: 
    防水4軸圓柱坐標型機械手STWCR4000系列(配備300 mm晶圓翻轉(zhuǎn)機構+邊緣夾持機構)
    能夠在酸性,堿性霧氣環(huán)境下搬運半導體晶圓
    機械手臂標準臂長:160 mm、200 mm
    手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性
    手臂關節(jié)部位防水結構使用V型密封圈
    零件之間的結合面采用Viton材質(zhì)的密封條
    Z軸的防水結構可以使用蛇腹管
    雙臂結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
    配備動作監(jiān)視器
    控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
    全軸采用2相步進電機
    S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
    晶圓固定方式: 真空吸附式,下托式,邊緣夾持式
    可以針對搬運物體,客戶設備布局的實際情況提供手指




    防水4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù):
    使用環(huán)境                 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
    手臂                       雙臂
    到達距離                 315mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)
    升降軸行程       300mm
    可搬運質(zhì)量              3kg (手臂第3關節(jié)處基準)


    了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/




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