單晶爐氬氣質(zhì)量流量控制器美國(guó)ALICAT艾里卡特性能
- 可用量程:
選擇任意三臺(tái)量程不超過(guò)1500 slpm(PCU和PCUS)或者250 slpm(PCUW)的流量計(jì)
所有流量計(jì)均配有流量累加器
- 可調(diào)比:高達(dá)1,000,000:1(3臺(tái)儀表綜合可調(diào)比)
- 校準(zhǔn)精度高(NIST可溯源)(PCU標(biāo)準(zhǔn)精度):±0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程
- 可重復(fù)性:0.2%滿量程
- 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù):5-10ms
- 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間