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MCV和MCE聯(lián)系緊密，采用內(nèi)置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設(shè)定點為零時出現(xiàn)污染情況。

• 多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
• 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
• 耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。
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半導體真空設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器