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產(chǎn)品簡介
半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質(zhì)量流量控制器
半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品價(jià)格:¥15800
上架日期:2022-06-27 09:39:55
產(chǎn)地:美股
發(fā)貨地:北京
供應(yīng)數(shù)量:不限
最少起訂:1臺(tái)
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詳細(xì)說明

    半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質(zhì)量流量控制器  MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是真空專用設(shè)備。MCE系列產(chǎn)品的特征如下:與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快,外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)端對端的匹配連接。

    MCV和MCE聯(lián)系緊密,采用內(nèi)置氣動(dòng)截止閥,適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上,防止在設(shè)定點(diǎn)為零時(shí)出現(xiàn)污染情況。

    • 多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力;可選擇另一臺(tái)已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
    • 連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項(xiàng),可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
    • 耐用。MCE和MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動(dòng)

    半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質(zhì)量流量控制器 

    • 可用量程:0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,請參見零件編號(hào)標(biāo)簽)
    • 可調(diào)比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
    • 標(biāo)準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)
    • 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)
    • 可重復(fù)性:0.2%滿量程
    • 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms)
    • 氣動(dòng)閥漏氣率(僅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(值,氦氣)
    • 無需預(yù)熱時(shí)間

    工作條件

    • 兼容氣體:98種(MCE/MCV系列)或130種(MCES/MCVS系列)預(yù)置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
    • 工作溫度:-10°C至+60°C
    • 內(nèi)部壓力(靜態(tài)):145 psig(160 psia)
    • 耐受壓力:175 psig(190 psia)
    • STP/NTP:用戶可選(默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

    半導(dǎo)體真空設(shè)備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質(zhì)量流量控制器 MCV系列包裝清單:



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