日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計基于MODEL 3660系列開發(fā)的緊湊型低成本質量流量計。
它是作為大學和研究機構研發(fā)應用的各種分析儀器和真空設備的標準模型而開發(fā)的。
- 配備流量傳感器，采用改進的恒流溫差檢測方法，實現(xiàn)高速響應
- 我們不選擇緊湊的身體設置的地方
尺寸圖 日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計
標準規(guī)格 日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計
| 模型 | 3760 | 3765 |
|---|---|---|
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流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） |
10SCCM~20SLM（可選） | 30SLM~100SLM（可選） |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 響應速度 | 在2秒內 | 在3秒內 |
| 準確性 | ±1.0％FS（25°C） | ±1.5％FS（25°C） |
| 溫度系數(shù) | ±0.1％FS /°C（15~35°C） | ±0.2％FS /°C（15~35°C） |
| 再現(xiàn)性 | ±0.5％F.S.（20°C） | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 密封材料FKM（選件CR或NBR） | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 |
+15 VDC（±5％）100 mA, -15 VDC（±5％）100 mA |
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接頭 （體型） |
標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 |
標準3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 |
| 重量 | 約800g | 約1000g |
（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10-6Pa?m3 / sec以下。
警告
流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規(guī)格。
另外，生產規(guī)格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。