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產品簡介
日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計
日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計
產品價格:¥6950
上架日期:2022-06-17 09:52:33
產地:日本
發(fā)貨地:BEIJING
供應數(shù)量:不限
最少起訂:1臺
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詳細說明

    標準質量流量計

    MODEL 3760 SERIES

    日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計基于MODEL 3660系列開發(fā)的緊湊型低成本質量流量計。
    它是作為大學和研究機構研發(fā)應用的各種分析儀器和真空設備的標準模型而開發(fā)的。

    • 配備流量傳感器,采用改進的恒流溫差檢測方法,實現(xiàn)高速響應
    • 我們不選擇緊湊的身體設置的地方

    尺寸圖  日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計

    標準規(guī)格  日本KOFLOC 3760質量流量計 真空鍍膜KOFLOC質量流量計

    模型 3760 3765
    流量范圍
    (N2轉換20°C / 1 ATM)
    10SCCM~20SLM(可選) 30SLM~100SLM(可選)
    傳感器方式 熱繞組傳感器
    響應速度 在2秒內 在3秒內
    準確性 ±1.0%FS(25°C) ±1.5%FS(25°C)
    溫度系數(shù) ±0.1%FS /°C(15~35°C) ±0.2%FS /°C(15~35°C)
    再現(xiàn)性 ±0.5%F.S.(20°C)
    耐壓 980kPa(G)
    He泄漏率(* 1) 1 x 10-8 Pa.m3/s以下
    允許周圍溫度 5~45℃
    允許環(huán)境濕度 10~90%RH(無結露)
    氣體接觸材料 車身SUS316L
    密封材料FKM(選件CR或NBR)
    電氣連接 Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準)
    流量輸出信號 0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上)
    所需電源 +15 VDC(±5%)100 mA,
    -15 VDC(±5%)100 mA
    接頭
    (體型)
    標準1 / 4F 900(9 / 16.18 UNF)
    選項1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等
    標準3 / 8F 900(9 / 16.18 UNF)
    選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR,Rc 3/8等
    重量 約800g 約1000g

    (* 1)不含滲透。
    長期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10-6Pa?m3 / sec以下。

    警告

    流量范圍附帶的規(guī)格(流量范圍,精度,響應性等)是N2或空氣轉換中的規(guī)格。
    另外,生產規(guī)格條件是初級側小于300kPa,次級側向大氣開放。
    有關壓力條件,請另行咨詢。

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