晶圓鍵合機(jī)支撐晶圓，進(jìn)行自動對準(zhǔn)
晶圓鍵合機(jī)Wafer Bonding特點(diǎn)：
4”-8”/8”-12”晶圓適用，支持極薄化晶圓的鍵合。
可選真空熱壓/UV/激光等鍵合方式
鍵合機(jī)智能測繪料籃內(nèi)晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
鍵合機(jī)支撐晶圓、產(chǎn)品晶圓進(jìn)行自動對準(zhǔn)。
晶圓鍵合機(jī)可自動完成晶圓鍵合（Wafer Bonding)工藝。
可選配晶圓鍵合后的在線檢測功能。
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力
晶圓鍵合機(jī)Wafer Bonding規(guī)格：
品名 Wafer Bonding（晶圓鍵合機(jī)）
鍵合晶圓尺寸 4”-8”/8”-12”
支持體基板 玻璃
鍵合裝置：真空熱壓/UV/激光 定制
粘貼裝置 搭載
晶圓盒形式 兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料
其他 SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力
了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_bonding_debonding/
晶圓鍵合機(jī)_Wafer Bonding相關(guān)產(chǎn)品：
衡鵬供應(yīng)
晶圓解鍵合機(jī)/Wafer Debonding/晶圓臨時(shí)鍵合/超薄晶圓臨時(shí)鍵合/wafer bonder/wafer debonder/50μm的超薄晶圓需要臨時(shí)鍵合
