圓柱坐標(biāo)潔凈_3軸機(jī)械手臂
圓柱坐標(biāo)潔凈_3軸機(jī)械手臂特點(diǎn)：
超潔凈無(wú)塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)
全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求
比MHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):160mm, 200mm
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動(dòng)作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 單臂
到達(dá)距離 400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸行程 300mm / 400mm / 500mm
可搬運(yùn)質(zhì)量 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))
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