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全自動(dòng)晶圓減薄拋光一體機(jī)GNX200B_OKAMOTO



OKAMOTO全自動(dòng)晶圓減薄拋光一體機(jī)GNX200B特點(diǎn)：。
機(jī)械精度的調(diào)整方法：通過(guò)主軸進(jìn)行調(diào)整，因?yàn)榭蛇M(jìn)行原點(diǎn)定位，所以精度調(diào)整相當(dāng)容易；可2處調(diào)節(jié)。
標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)方式：齒軸+定位銷進(jìn)行定位，長(zhǎng)年使用也不會(huì)發(fā)生位移。
標(biāo)準(zhǔn)潤(rùn)滑方式：潤(rùn)滑油及防護(hù)罩，防止進(jìn)入異物造成磨損。
設(shè)備剛性：高剛性，不會(huì)因老化造成精度變化，部件由自產(chǎn)鑄金一體化生產(chǎn)。


全自動(dòng)晶圓背面減薄機(jī)研磨機(jī)GNX200B規(guī)格：
規(guī)格                     GNX200B     
加工直徑     Ф200    
軸承旋轉(zhuǎn)數(shù)     0~3600min-1
軸承驅(qū)動(dòng)電機(jī)     2.2/4 Kw/P
軸承進(jìn)給速率     1~999μm/min
主軸數(shù)                     2
工作軸旋轉(zhuǎn)數(shù)     1~300min-1
軸承尺寸（外徑）          Ф250    
質(zhì)量                     3900mm   


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