晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-6120_SINTAIKE
SINTAIKE晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-6120規(guī)格:
晶圓尺寸:8”& 12”晶圓;
常規(guī)產(chǎn)品厚度:200~750微米;
Bump產(chǎn)品厚度:晶圓 200~400微米;
凸塊 50~200微米;
晶圓翹曲:≤5mm;
晶圓種類(lèi):硅或其它;
單平邊,V型缺口;
膠膜種類(lèi):藍(lán)膜或者UV膜;
寬度:240~340毫米;
長(zhǎng)度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
貼膜原理:防靜電滾輪貼膜;
滾輪溫度:室溫~80攝氏度;
貼膜動(dòng)作:自動(dòng)拉膜和貼膜;
晶圓臺(tái)盤(pán):二合一特氟龍防靜電涂層接觸式臺(tái)盤(pán)或硅膠臺(tái)盤(pán),臺(tái)盤(pán)溫度:室溫~100℃;
裝卸方式:晶圓手動(dòng)放置與取出;
防靜電控制:防靜電特氟龍涂層晶圓臺(tái)盤(pán)/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器;
切割系統(tǒng):獨(dú)特的手動(dòng)可調(diào)整環(huán)形切刀,適用于不同的晶圓外形,刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu),無(wú)任何飛邊并省去修邊;
獨(dú)特的手動(dòng)直切刀,為世界最省膜的設(shè)計(jì);切割刀溫度:MAX達(dá)150℃;
晶圓定位:通用標(biāo)線/彈簧銷(xiāo)釘;
控制單元:基于PLC 控制,并帶5.7”觸摸屏;
安全防護(hù):配置緊急停機(jī)按鈕;
電源電壓:相交流電220V,10A;
壓縮空氣:5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2.5立方英尺;
機(jī)器外殼:白色噴塑金屬外殼;
體積:670毫米(寬)*1180毫米(深)*550毫米(高);
凈重:85公斤;
晶圓減薄前貼膜機(jī)STK-6120性能:
晶圓收益:≥99.9%;
貼膜質(zhì)量:沒(méi)有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡);
每小時(shí)產(chǎn)能:≥ 30~70片晶圓;
更換產(chǎn)品時(shí)間:≤ 5分鐘。
了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_mounter/atw-12.htm
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