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晶圓鍵合機_Wafer Bonding
——晶圓鍵合機應(yīng)用于晶圓臨時性鍵合/解鍵合（Wafer Bonding/Debonding)工藝


晶圓鍵合機Wafer Bonding特點：
4”-8”/8”-12”晶圓適用，支持極薄化晶圓的鍵合。
可選真空熱壓/UV/激光等鍵合方式
鍵合機智能測繪料籃內(nèi)晶圓，兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
鍵合機支撐晶圓、產(chǎn)品晶圓進行自動對準。
晶圓鍵合機可自動完成晶圓鍵合（Wafer Bonding)工藝。
可選配晶圓鍵合后的在線檢測功能。
工控機+Windows系統(tǒng)
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力



晶圓鍵合機Wafer Bonding規(guī)格：
品名                                                Wafer Bonding（晶圓鍵合機）
鍵合晶圓尺寸                                   4”-8”/8”-12”
支持體基板                                      玻璃
鍵合裝置：真空熱壓/UV/激光            定制
粘貼裝置                                          搭載
晶圓盒形式                                      兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料
其他                                                SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力


了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_bonding_debonding/


晶圓鍵合機_Wafer Bonding相關(guān)產(chǎn)品：
衡鵬供應(yīng)
晶圓解鍵合機/Wafer Debonding/晶圓臨時鍵合/超薄晶圓臨時鍵合/wafer bonder/wafer debonder/50μm的超薄晶圓需要臨時鍵合