有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化_3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂
3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂（小徑晶圓用）特點(diǎn)：
超潔凈無塵間用2軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂SSCR3090S系列
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運(yùn)，通過優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，
有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，連桿式手臂，可以定制沒有Z軸模塊的機(jī)械手臂
全軸使用2相步進(jìn)電機(jī)
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供手指
了解更多：http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/index2.htm
3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂（小徑晶圓用）相關(guān)產(chǎn)品：
衡鵬供應(yīng)
防水式/真空3軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械臂
帶翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的/防水式/水平多關(guān)節(jié)型4晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂
水平多關(guān)節(jié)型/真空5軸晶圓搬運(yùn)機(jī)械手
