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新型雙臂機械手臂_4軸圓柱坐標型


新型雙臂機械手臂_4軸圓柱坐標型特點： 
適用于超級潔凈間要求的4軸晶圓搬運機械手臂
在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上，解決了步進電機常見的丟步問題，
適用于減薄晶圓以及晶圓四周邊緣區(qū)域真空吸附方式的新型雙臂機械手臂
采用了不會發(fā)生丟步現(xiàn)象的控制方式來控制步進電機
高強度手臂/手臂第3關(guān)節(jié)處可承受3kg力（包含腕部機構(gòu)模塊，晶圓的質(zhì)量）
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式



4軸新型雙臂晶圓搬運機械手臂基本參數(shù)：
使用環(huán)境                    潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂                          雙臂
到達距離                    475mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達距離)
升降軸MAX行程         200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm 
可搬運質(zhì)量                3kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準)



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