5軸晶圓搬運機(jī)械手_水平多關(guān)節(jié)型
5軸晶圓搬運機(jī)械手_水平多關(guān)節(jié)型特點：
可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列
單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能
適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測設(shè)備等的晶圓搬運
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm
機(jī)械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP（210mm臂長）
或者3個FOUP（280mm臂長）
雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
配備動作監(jiān)視器
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化
能夠高速，高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
可以針對被搬運物體種類，設(shè)備布局等要求提供手指
5軸水平多關(guān)節(jié)型晶圓搬運機(jī)械手基本參數(shù)：
使用環(huán)境 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂 單臂
到達(dá)距離 553mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸MAX行程 300mm / 400mm / 500mm
可搬運質(zhì)量 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))
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