信息化時代下，測量技術(shù)是科學(xué)技術(shù)發(fā)展和國民經(jīng)濟(jì)提高的關(guān)鍵與基礎(chǔ)，尤其是測量型儀器儀表，可以說是信息產(chǎn)業(yè)的源頭和重要組成部分?，F(xiàn)代化工業(yè)數(shù)字化測量要求高精度化、低成本和小型化，因?yàn)橹T如汽車發(fā)動機(jī)等均要求其組成零部件必須具有非常高的精度，以便減少噪聲、防止環(huán)境污染和節(jié)省能耗，這些都是時代對制造業(yè)提出的緊迫要求。目前在3D檢測領(lǐng)域中，在同等系統(tǒng)放大倍率下，3d光學(xué)干涉輪廓儀的檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，是高精度的檢測儀器之一，在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域，除了表面形貌干涉儀，其他儀器都沒有辦法達(dá)到其測量精度要求。
白光干涉原理
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1 3d光學(xué)干涉輪廓儀讓輪廓測量價(jià)格更為實(shí)惠，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便。
產(chǎn)品參數(shù)
技術(shù)指標(biāo)
測量應(yīng)用
以測量單刻線臺階為例：
1、在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插到對應(yīng)插孔后，開啟儀器電源開關(guān)，啟動計(jì)算機(jī)，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調(diào)整載物臺大概位置，對準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方。
2、在計(jì)算機(jī)上打開測量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行點(diǎn)，再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離，調(diào)整到計(jì)算機(jī)屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設(shè)置好要掃描的距離。
3、按開始按鈕，儀器可自動進(jìn)行掃描測量，測量完成后，轉(zhuǎn)件自動生成3D圖像，測量人員可以對3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，獲得被測器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。
標(biāo)準(zhǔn)配置
SuperView W1 3d光學(xué)干涉輪廓儀具有測量精度高、功能全、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。