3d輪廓檢測設(shè)備主要是測量微小結(jié)構(gòu)件的微觀3D形貌，輔助判斷工藝參數(shù)是否需要調(diào)整。它以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)，用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。可以達(dá)到納米級(jí)的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。可以說只有3d光學(xué)輪廓儀檢測儀器設(shè)備才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。
中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的3d輪廓檢測設(shè)備，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中。
產(chǎn)品參數(shù)
工作原理
光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
產(chǎn)品性能特征
1、高精度、高重復(fù)性
2、一體化操作的測量分析軟件
3、精密操縱手柄
4、雙重防撞保護(hù)措施
5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
中圖儀器研發(fā)的的3d輪廓檢測設(shè)備讓輪廓測量價(jià)格更為實(shí)惠，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的臺(tái)階高度、表面缺陷、平面度、粗糙度、孔隙間隙、波紋度、面形輪廓、磨損情況、腐蝕情況、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析，簡單來說就是主要用于成品的質(zhì)量管理，確保良品合格率。