廢氣物質(zhì)通過吸收光子或其他粒子的能量，使得化學(xué)鍵斷裂，形成游離態(tài)的原子，再經(jīng)過一系列的氧化還原等反應(yīng)，終生成H2O和CO2等簡單物質(zhì)。經(jīng)過長期研究發(fā)現(xiàn)，當(dāng)化學(xué)物質(zhì)通過吸收能量(如熱能、光子能量等)，可以使自身的化學(xué)性質(zhì)變得更加活躍甚至被裂解。當(dāng)吸收的能量大于化學(xué)鍵鍵能，即可使得化學(xué)鍵斷裂，形成游離的帶有能量的原子或基團(tuán)。在波長范圍154nm-184.9nm(12KJ/mol-6KJ/mol)高能紫外線的作用下，一方面空氣中的氧被裂解，然后組合產(chǎn)生臭氧；另一方面將污染物化學(xué)鍵斷裂，使之形成游離態(tài)的原子或基團(tuán)；同時產(chǎn)生的臭氧參與到反應(yīng)過程中，使廢氣終被裂解，氧化成簡單的穩(wěn)定的化合物，如COH2O、N2等。
