SC渦旋式真空泵
目前半導(dǎo)體、平板顯示、太陽能光伏電池以及化學(xué)工業(yè)的發(fā)展迅速，對潔凈真空的要求越來越高。為了滿足客戶對無油潔凈真空的需求，歐瑞康萊寶推出了SC系列渦旋式真空泵。
1、SC系列真空泵特點：
·可以提供抽速為5,15和30m3/h的3款產(chǎn)品SC5/15/30D；
·高極限真空，最低可達(dá)0.01mbar；
·低噪聲；
·低振動；
·允許進(jìn)氣壓力大；
·重量輕；
·能耗低；
2、應(yīng)用范圍：
·電子束焊接；
·激光；
·檢漏系統(tǒng)；
·加速器/同步加速器；
·表面分析儀；
·STM’s；
·ELMI；
·小型渦輪泵組；
·搬送室；
