C03 活塞式和渦旋式干泵
ECODRY M 系列活塞式干泵
Ecodry系列為歐瑞康萊寶最新推向市場(chǎng)的一種干式泵。它可以滿足除半導(dǎo)體行儀以外的所有干式真空的需要。由于它相對(duì)于其他干式泵來(lái)說(shuō)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，價(jià)合理，因此剛一面市、即受到廣大格用戶的歡迎。
Ecodry活塞式干泵的主要技術(shù)參數(shù)：
抽速：14m3/h～30m3/h
極限真空度：5.5×10-2mbar
排水蒸氣能力：25mbar(最大)
Ecodrg活塞式干泵的主要特點(diǎn)：
1、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于操作和維護(hù)；
2、工作過(guò)程中不產(chǎn)生粉塵；
3、耐粉塵，排水蒸氣能力強(qiáng)；
4、低能耗，堅(jiān)固耐用，可靠性高；
5、可以選配變頻器增大抽速；
典型應(yīng)用：質(zhì)譜儀，電子顯微鏡，照明，鍍膜，loadlock，無(wú)油高真空前級(jí)泵等。