UV-M10-P/S紫外線光量計UV-M10日本ORC紫外線照度計
是為了管理和利用紫外線的UV照射裝置光量的測量儀。因為預(yù)設(shè)了控制信號切換點輸出,所以可以用來控制UV照射裝置等的曝光量度
◆特征
是能控制輸出紫外線曝光用信號的紫外線光量計簡單的測量,小巧方便。
預(yù)設(shè)10個光量頻道,光量測量,發(fā)光強度測量,計時器設(shè)定,預(yù)備時間測量等多種功能。
在光量測量中,發(fā)光強度表示和時間表示可自由轉(zhuǎn)換。
可選擇機器內(nèi)置型UV-M10-P或者桌上型UV-M10-S。
受光器,根據(jù)靈敏度以及測試范圍有UV-25,35,42可供選擇。在半導(dǎo)體,液晶用基板的制造的工序中請選UV-SD25,UV-SD35,UV-SD42;在電子電路(印刷)基板的制造工序中請選用UV-SN25,UV-SN35,UV-SN42。
測量數(shù)據(jù),可通過RS-232C接口連接到PC
同時還具有模擬輸出。
◆關(guān)于SD型和SN型
SN型由于承蒙從以前使用本公司制的曝光裝置和照射裝置等被的顧客寬廣地采用的東西,確保著經(jīng)過管理的繼續(xù)性。
SD型在半導(dǎo)體和液晶用基板的制造流程的現(xiàn)場,已經(jīng)使用的顧客,如果被重視跟那些的測量器的數(shù)據(jù)的兼容性確保的(本公司制的曝光裝置在投影型曝光裝置和液晶基板用周邊曝光裝置SD型也被采用),完全被新規(guī)章變成發(fā)光強度計等為使用的顧客推薦著其他公司制的發(fā)光強度計
◆參考參數(shù)
受光器(交換式) UV-SD35(UV-SN35)
測量波長領(lǐng)域 310~385nm
測量光量范圍 0.01~999.9mJ/cm2
測量發(fā)光強度范圍
開關(guān)轉(zhuǎn)換
有效距離1:0.01~10.00mA/cm2
有效距離2:0.1~50.0mA/cm2
輸入輸出信號(D-輔助連接口)
輸入(1)遠(yuǎn)程開始(2)遠(yuǎn)程停止
接力切點輸出(1)N. O.(以開始ON)(2)N. C.(3)警告
包含合在一起精度 對本公司UV標(biāo)準(zhǔn)器±2%以內(nèi)
反復(fù)精度 ±1.0%以內(nèi)