英國Thermco公司擴(kuò)散爐、LPCVD、氧化爐、退火爐、合金化爐
英國Thermco Systems公司成立于1962年，是世界上最著名的臥式擴(kuò)散爐、氧化爐、退火爐、合金化爐及LPCVD爐的制造商，在全球各處的半導(dǎo)體制造廠里都有大量的安裝應(yīng)用，迄今為止安裝記錄已超過20000管。
根據(jù)基片尺寸以及產(chǎn)量要求的不同，HTR系列可分為6200，5100/5200，4500/4900，2400/2600等；可處理4"~10"的基片，每管處理能力分別可達(dá)25片、50片或100片；根據(jù)配置不同的工藝氣源及溫度控制范圍，各型號(hào)的產(chǎn)品均可用于LPCVD、擴(kuò)散及氧化等熱處理反應(yīng)工藝。
標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝
·LPCVD氮化硅（標(biāo)準(zhǔn)型)
·LPCVD氮化硅（低應(yīng)力型）
·LPCVD斜坡溫度多晶硅
·LPCVD一致晶粒多晶硅
·LPCVD氧化層TEOS（正硅酸乙脂）
·LPCVD VLTO（低溫氧化）
·LPCVD BPSG（硼磷硅玻璃）
· 高溫氧化
· 干法氧化
· 濕法氧化
· 摻雜擴(kuò)散 （3-4路液相摻雜管路 ( POCL3 or BBR3)）
· 5-6路TCA或Hcl氣路
· 混合氣體退火
· 高溫?zé)峄鼗?/font>
· 低溫退火和合金化
· 高溫驅(qū)入（Drive in）
標(biāo)準(zhǔn)LED工藝
·高真空退火（環(huán)境可控）
·低溫合金化/退火
標(biāo)準(zhǔn)PV（太陽能）工藝
·濕氧/干氧
·PN結(jié)驅(qū)入
·Forming氣體退火
·氫氣退火
·低溫?zé)崽幚?/font>
·POCl3，BBr3 PN結(jié)和槽
·反射氮化膜（ARC Nitride coating）
標(biāo)準(zhǔn)MEMS（微機(jī)電）工藝
·低應(yīng)力CVD氮化物
·氧氮化物SIPOS
·厚氧
·TEOS，良好的臺(tái)階覆蓋能力
·多晶硅和摻雜多晶硅