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美國Temescal公司電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)

 產(chǎn)品概述

美國Temescal公司成立于1952年，是真空電子束蒸鍍技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)者，提供最先進的精密鍍膜系統(tǒng)以及電子槍組件。Temescal在精確控制材料蒸氣云分布方面擁有豐富的經(jīng)驗與獨到的技術(shù)，典型材料如鈦、鉑、金、鈀、銀、鎳、鋁、鉻、銅、鉬、錫、二氧化硅、氧化銦錫，可獲得優(yōu)異的薄膜沉積均勻性和一致性。
Temescal總部在美國加州，擁有獨立完善的設(shè)計、制造、銷售和研發(fā)部門，其關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢著重體現(xiàn)于成套沉積系統(tǒng)和電子槍組件。在高亮度LED、GaAs基無線通信芯片、光通訊器件、太陽能光伏、微機械（MEMS）和聲表器件（SAW）等領(lǐng)域擁有很高的聲譽和眾多著名用戶。
Temescal完美的工藝實現(xiàn)能力包括：高均勻性多層膜系工藝設(shè)計，最先進的大功率電子槍及控制電源，無死角操作的雙開門設(shè)計，潔凈無油真空系統(tǒng)，多種精密工件架，全自動薄膜工藝控制系統(tǒng)，等等。

 產(chǎn)品特點

1. 業(yè)內(nèi)獨有的真空鎖式批量蒸鍍系統(tǒng)
2. 整個電子束蒸發(fā)源可與腔室分離并轉(zhuǎn)到設(shè)備框架之外
3. 高性能電子槍和控制器
4. 所有OEM組件均來自世界一流供應(yīng)商
5. 豐富的剝離(Lift-off)工藝經(jīng)驗
6. 高均勻性和高材料利用率
7. 可靠靈活的全自動控制系統(tǒng)
8. 設(shè)備性能完全滿足24/7的嚴格的FAB生產(chǎn)要求
9. 專業(yè)的工藝研發(fā)和技術(shù)支持

 技術(shù)參數(shù)

主要型號
1. FC4400
Temescal最大型標(biāo)準系統(tǒng)，真空鎖結(jié)構(gòu)設(shè)計，適合150mm以上基片工藝的產(chǎn)能最大化要求
2. FC3800
Temescal大型標(biāo)準系統(tǒng)，真空鎖結(jié)構(gòu)設(shè)計，適合各種高產(chǎn)能應(yīng)用要求
3. FC/BCD2800
Temescal中型生產(chǎn)設(shè)備，真空鎖結(jié)構(gòu)可選，適合100mm~150mm晶圓工藝生產(chǎn)
4. FC/BJD2000
Temescal小型標(biāo)準系統(tǒng)，尤其適合小規(guī)模生產(chǎn)和研發(fā)

設(shè)備產(chǎn)能

 主要應(yīng)用

• 高亮度 LED

• 無線通信 Wireless infrastructure

• 微機電 MEMS

• 表面聲波器件 SAW