1. 測量參數(shù)：Ra、Rz、Rq、Rt
2. 取樣長度：
3. 評定長度中含有5個取樣長度(
4. 測量范圍Ra：0.025-12.5(?m)
5. 量程范圍：160μm
6. 觸針角度：90°
7. 導(dǎo)頭縱向半徑：
8. 針尖材料：金剛石
9. 針尖半徑：5μm±1μm
10. 觸針測力：4mN(0.4gf)
11. 最大驅(qū)動行程：
12. 驅(qū)動速度：
測量時： 當取樣長度=
當取樣長度=
當取樣長度=
返回時： V=
13. 示值誤差不大于±10%
14. 示值變動性不大于6%
