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1. 測量參數(shù)：Ra、Rz、Rq、Rt

2. 取樣長度：0.25mm，0.8mm，2.5mm三擋可選

3. 評定長度中含有5個(gè)取樣長度(5L)

4. 測量范圍Ra：0.025-12.5(?m)

5. 量程范圍：160μm

6. 觸針角度：90°

7. 導(dǎo)頭縱向半徑：45mm

8. 針尖材料：金剛石

9. 針尖半徑：5μm±1μm

10. 觸針測力：4mN(0.4gf)

11. 最大驅(qū)動(dòng)行程：18mm/0.71inch

12. 驅(qū)動(dòng)速度：
         測量時(shí)： 當(dāng)取樣長度= 0.25mm　　Vt=0.135mm/s
　　　　           當(dāng)取樣長度= 0.8mm　　 Vt=0.5mm/s
　　　　           當(dāng)取樣長度= 2.5mm　　 Vt=1mm/s
         返回時(shí)： V=1mm/s

13.    示值誤差不大于±10%

14.    示值變動(dòng)性不大于6%